MEMS加速度计:用于惯性传感和导航的开环和闭环传感器

用于高温应用的新型MEMS闭环加速度计

Physical Logic开发了一种MEMS闭环加速度计,旨在满足随钻测量(MWD)具有挑战性的系统要求 通过莎拉·辛普森/ 8月17日2022
用于高温应用的新型MEMS闭环加速度计

物理逻辑该公司开发了一种MEMS闭环加速度计,以满足能源行业对随钻测量的挑战性系统要求。新型闭环MEMS加速度计系列专为125ºC至150ºC的高温测量而设计,在极端条件下可提供可靠和准确的结果。


随钻测量(MWD)旨在从生产爆破钻孔中收集精确的高分辨率信息,以表征高度变化的地下挖掘为目标。

随钻测量的能源市场对低短期和长期漂移传感器的精度要求很高。对于许多应用,开环MEMS加速度计的解决方案不能提供足够的精度,而建议的更高精度的机电加速度计体积太大,价格昂贵,需要高功耗。

Physical Logic开发了MEMS闭环加速度计,以适应MWD具有挑战性的系统要求。基于我们目前所熟知的设计maxl - cl - 3000系列,我们引入了一些改进,以实现高温下的高精度测量。长期偏差重复性低至500µg,长期尺度因子重复性低至400ppm,确保了能源市场钻井应用的成功。

新型闭环MEMS加速度计系列专为125ºC至150ºC的高温测量而设计。在恶劣条件下的可靠性和准确性转化为振动下的优异偏压性能,同时仍然符合标准MAXL-CL-3000系列的相同规格。

在本报告中,我们介绍了在第一个闭环MEMS原型上进行的温度周期偏差的首次测试结果。图1和图2显示了测试加速度计中2个的剩余偏置温度。在该测试中,应用了-40ºC至125ºC的温度循环,然后是-40ºC至150ºC的第二个循环。

图1
图2

下一步,我们将展示HALT烘箱在温度和振动循环组合下的性能测试结果;这是为了说明随钻测量的工作环境。即将展示的HALT测试将是我们新产品导入步骤的一部分,用于对新的加速度计进行生产认证。

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